经阿育王倡导佛教之后，开凿石窟寺得到推广并成普遍实施之手段，这在中国也不例外。北魏在文成帝恢复佛教以后，到孝文帝太和初年，佛教又在北魏统治集团中盛行。宗教的影响逐渐渗入到陵墓制度中来。在我国，以石窟寺为陵墓之举可以溯及北魏文明太后方山永固陵。在永固陵前方600米处为永固堂，再南200米处有带回廊的塔院遗迹，这就是《水经注》所载佛寺——“思远灵图”，在陵园中布置佛寺可能是出于冯氏的本意。此举开创了我国陵园布局中墓寺结合的新形式，恰如其分地体现了统治者对佛教极端重视和佛教对世俗政权的渗透。

北朝以来，统治者除了普遍支持僧俗开凿佛教石窟的活动之外，更有直接以佛教石窟为自己陵藏的举措。这或许是肇始于永固陵墓寺结合的滥觞。东魏武定五年（547），高欢死，便葬于鼓山石窟寺。《资治通鉴》卷一六〇云：“（太清元年八月）甲申，虚葬齐献武王于漳水之西，潜凿成安鼓山石窟佛寺之旁为穴，纳其柩而塞之，杀其群匠。”又，《永乐大典》卷一三八二四《智力寺条》引《元一统志》云：“寺在磁州武安县，齐高欢薨于太原，默置（棺椁）于（磁州）鼓山（智力寺）天宫之旁，即此滏阳，乃虚陵也。”《续高僧传》卷二六〈明芬传〉云：“仁寿下敕，令（明芬）置塔于慈州之石窟寺，寺即齐文宣之所立也，大窟像背文宣陵藏中诸雕刻骇动人鬼。”可知墓穴凿在窟内像背。经李裕群先生考证认为高欢陵藏应指北响堂北洞而言，因现北响堂北洞中心柱南侧壁顶有墓穴，且北洞规模最大，符合“大窟”之称。《北史》卷一三〈后妃列传〉载西魏文帝文皇后乙弗氏失宠，于麦积山出家为尼，且死后“凿麦积崖为龛而葬。……后号‘寂陵’”，俗称“魏后墓”。今在麦积山C43正壁后方发现有一另开凿的不十分规整的长方形洞穴，似为停放灵柩之地。以上是中国早期统治者利用及改造石窟寺的两个典型事例，一方面体现了佛教对世俗社会的影响，另一方面也反映了石窟寺与陵墓之关系在中国的加强。如果说印度孔雀王朝阿育王为当时各教派凿建石窟时，尚仅停留于模仿的程度，那中国则是把陵墓与石窟寺二者结合起来，直接以石窟寺为陵藏，也就是视后者为陵墓了。这一切皆基于佛教对世俗社会的深刻影响之上，不能不说是一种大胆的创新。于此，我们也不难看出北朝时期中国佛教石窟寺与陵墓关系之一般。

值得一提的是，在敦煌、云冈、龙门石窟都发现有专门用于墓葬的石窟——瘗窟。通过系统勘察得知，龙门石窟目前能够确定的瘗葬洞窟就有三十九座，并且可以看出盛唐以降瘗葬洞窟的数量有了大幅度地上升。这是佛教信仰意识与新型世俗观念相融汇后而形成的一种丧葬习俗，成为中原一带一种新葬式。这种瘗窟直至金代仍有发现。

此外，在中国佛教石窟寺类型中，有一种影窟，数量不多，规模一般不大。若有造像所供养者是佛教信徒的形象，如置某位高僧像。其特点是凡是影窟皆有高僧影像。影窟的建造主要是为了纪念该高僧，如敦煌藏经洞C17即是高僧洪（巩+言）的影窟。在考古发掘中，也有类似墓葬发现，成都抚琴台前蜀王建墓即是。该墓为前中后三室墓，其中室有须弥座式的棺床，后室靠后处有一石床，床上有王建石造像。不难看出此墓与佛教石窟寺中之影窟颇似，只是王建墓仍以陵墓为主同时兼备了影窟的特点，这一点与前文所言以石窟寺为陵藏者有别。此外，经沈仲常先生考证，王建及孟知祥墓的棺床为佛座，同时前者棺床石刻乐伎表现的是“弄佛曲”，而非其它。这也从一个侧面反映了佛教艺术对陵墓制度的影响。